一、防塵、防毒設施設計 （1）2#廠房1F鉆機設置側吸罩（罩口控制風速≥1.0m/s，風機風量：7000m3/h）。 （2）2#廠房2F銑床設置側吸罩（罩口控制風速≥1.0m/s，風機風量：7000m3/h）。 （3）2#廠房2F棕化線采用自動化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風速≥0.4m/s，風機風量：7000m3/h）。 （4）2#廠房3F晶圓切割機設置側吸罩（罩口控制風速≥1.0m/s，風機風量：7000m3/h）。 （5）4#廠房2F激光鉆孔采用自動化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風速≥0.4m/s，風機風量：25000m3/h）。 （6）4#廠房2F微蝕減銅線、水平除膠沉銅線、鍍錫線、鍍銅線、圖形化學前處理線、快速蝕刻線、水平DES線采用自動化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風速≥0.4m/s，風機風量：27600m3/h）。 （7）4#廠房2F去膜線/隧道烘箱采用自動化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風速≥0.4m/s，風機風量：32000m3/h）。 （8）4#廠房3F沉錫線、超粗化線、噴砂線采用自動化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風速≥0.4m/s，風機風量：20000m3/h）。 （9）4#廠房3F絲印機、滾涂線采用自動化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風速≥0.4m/s，風機風量：35000m3/h）。 （10）4#廠房3F去膜線采用自動化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風速≥0.4m/s，風機風量：32000m3/h）。 （11）4#廠房3F鎳鈀金線采用自動化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風速≥0.4m/s，風機風量：31000m3/h）。 （12）4#廠房3F數控銑床采用自動化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風速≥0.4m/s，風機風量：25000m3/h） （13）原輔料分類存放，均用密閉的容器儲存，化學品容器用墊板墊高，防止與地面接觸。化學品倉庫采用環氧地坪漆，設置圍堰或放置托盤，預防化學品發生泄漏。 （14）易燃液體、遇濕易燃物品、易燃固體不與氧化劑混合貯存，具有還原性的氧化劑單獨存放。 （15）有毒物品應貯存在陰涼、通風、干燥的場所，不露天存放，不接近酸類物質。 （16）化學危險品入庫時，嚴格檢驗物品質量、數量、包裝情況、有無泄漏。 （17）化學危險品入庫后采取適當的養護措施，在貯存期內，定期檢查，發現其品質變化、包裝破損、滲漏等，及時處理。 （18）庫房溫度、濕度嚴格控制、經常檢查，發現變化及時調整。 （19）建設單位生產過程產生的固廢分類存放、密封袋盛裝。 （20）排風罩應能將有害物源放散的有害物予以捕集，在使工作場所有害物濃度達到相應衛生標準要求的前提下，提高捕集效率，以較小的能耗捕集有害物。 （21）當不能將有害物源全部密閉時可設置外部罩，外部罩的罩口應盡可能接近有害物源。 （22）排風罩的罩口外氣流組織宜有利于有害氣流直接進入罩內，且排氣線路不應通過作業人員的呼吸帶。 （23）排風罩應避免布置在存在干擾氣流之處。排風罩的設置應方便作業人員操作和設備維修。 （24）液氮為密閉管道輸送。 （25）建設項目化學品在使用前均為密封包裝狀態，分別轉運至藥品自動供給室，在安裝桶/槽/罐/瓶時，均在化學品柜中進行，管路連接完成后方能開啟桶/槽/罐/瓶。藥品配送站設計位于密閉的潔凈廠房內，設置一般排氣（2#廠房：風量18000m3/h；4#廠房：風量40000m3/h），廢氣將通過廠房屋頂排氣筒排放。化學品在輸送至生產工序時管道采用雙層套管，避免了物料的跑冒滴漏。 二、防噪、減振設施設計 （1）在符合工藝要求的條件下，選用低噪聲的設備。 （2）高噪聲設備集中布置與辦公室隔開，并設置消音器（風機等），作業場所采用墻體隔聲，減少噪聲傳播，降低噪聲對非生產區的影響。 （3）生產設備設置減振墊，減少振動造成的噪聲。 （4）辦公室、控制室與作業場所位于不同樓層，正常作業時，門窗均為關閉狀態。 ①消音器外觀應整潔、無破損； ②消音器銘牌、合格證及氣流方向標志應牢固，標識內容應清晰； ③消音器采用鉚接工藝時，鉚點應均勻牢固且應選用實心鉚釘，穿孔板咬口方式應采用內平咬口工藝以減小風阻；采用焊接工藝時，焊接區域應牢固、均勻、光滑，不應有裂紋、虛焊、氣孔、夾渣等缺陷； ④消音器安裝采用過渡管連接時，過渡管單邊當量擴張角應不大于15°，并應保證氣流均勻通過消聲器截面； ⑤在保證使用性能的條件下，消音器可承受的最高壓力不應超過額定壓力的120%，可通過氣流的最高流量不得超過額定流量的110%，可通過介質的最高溫度不應高于額定溫度50℃。 三、防暑、降溫設施設計 （1）高溫季節為勞動者發放清涼飲品和藥品。 （2）合理安排作業時間，制定合理的勞動休息制度，減少高溫接觸時間。 （3）作業場所采用送風系統，空調作業場所，加強內空氣流通。 （4）建設單位隧道烘箱等設置隔熱材料，防止作業人員燙傷。 （5）除上述防暑降溫設施、措施，建設單位還應按照《關于印發防暑降溫措施管理辦法的通知》（安監總安健〔2012〕89號）的要求，根據地市級以上氣象主管部門所屬氣象臺當日發布的預報氣溫，調整作業時間： ①日最高氣溫達到40℃以上，應當停止當日室外露天作業； ②日最高氣溫達到37℃以上、40℃以下時，建設單位全天安排勞動者室外露天作業時間累計不得超過6小時，連續作業時間不得超過國家規定，且在氣溫最高時段3小時內不得安排室外露天作業； ③日最高氣溫達到35℃以上、37℃以下時，建設單位應當采取換班輪休等方式，縮短勞動者連續作業時間，并且不得安排室外露天作業勞動者加班。 四、防電離輻射設施設計 （1）設備自帶屏蔽措施（屏蔽體與X射線裝置主體結構一體設計和制造）。機房四周和頂部的墻體均采用鋼-鉛-鋼夾層結構（鉛層厚度：14mm）。 （2）設置單獨的控制臺，控制臺的液晶顯示屏可清晰地顯示工作時的管電壓、管電流、高壓接通或斷開狀態以及照射時間設定值等工作參數，并設有高壓接通時的外部報警、指示裝置，控制臺與X射線機系統分開并避開有用線束的照射方向。 （3）設置門-機聯鎖裝置，并保證在門（包括人員門和貨物門）關閉后X射線裝置才能進行作業，門打開時應立即停止X射線照射，關上門不能自動開始X射線照射。 （4）作業場所門口和內部同時設有顯示“預備”和“照射”狀態的指示燈和聲音提示裝置。“預備”信號持續足夠長的時間，以確保探傷室內人員安全離開。“預備”信號和“照射”信號與該工作場所內使用的其他報警信號有明顯區別。照射狀態指示裝置與X射線探傷裝置聯鎖。 （5）作業場所防護門上有電離輻射警告標識和中文警示說明。 （6）分別設置鑰匙開關，并由專人管理，只有在打開控制臺鑰匙開關后，X射線管才能出束；只有在停機或待機狀態時才能拔出鑰匙。 （7）設置攝像頭，對測厚、在線 X-ray 檢查、鉆靶作業進行監控，避免不規范作業。 （8）設置獨立的安全開關，防止門在檢測過程中打開或在門打開時關閉高壓，鉛門同時設置與X射線源的連鎖保護，鉛門打開時不能開啟高壓，開高壓過程中如鉛門意外打開，高壓自動關閉，控制臺配置應急開關與X射線源連鎖。 （9）每天對各操作按鈕開關是否完好無損，對急停開關、聯動門關閉、警示燈、水冷系統運行、監控系統、輻射個人劑量報警儀、個人劑量片胸卡等是否正常工作或運行進行檢查，確認無誤后方可進行作業。 （10）設置電源總開關，當緊急停機按鈕無法使用，可以切斷電源總開關使系統停止運行。 （11）定期用檢測儀對系統輻射值進行檢測，檢測射線是否有泄漏。放射工作人員開機操作前先使用X射線泄漏檢測儀對系統進行放射泄漏安全檢測，檢測合格后方可按照安全操作規程進行操作，定期對接地和電纜絕緣進行檢查。 （12）制定X射線實時成像檢測系統的安全操作規程，并對放射工作人員進行培訓，嚴格按照操作規程進行操作。 （13）X射線裝置墻壁圍成的內部區域劃為控制區,與墻壁外部相鄰區域劃為監督區。 （14）控制區邊界懸掛清晰可見的“禁止進入X 射線區”警告牌,探傷作業人員在控制區邊界外操作,否則應采取專門的防護措施。 （15）現場探傷作業工作過程中,控制區內不應同時進行其他工作。 五、防非電離輻射設施設計 （1）建設單位激光打標、激光鉆孔、UV 固化、阻焊DI曝光采用自動化、密閉化設備，并設置聯鎖的防護罩，光束的通道防護圍封。 （2）在防護裝置被打開或被移動，或聯鎖裝置失效時，設備不能自動運行工作。 （3）機床的激光成形加工裝置安全、可靠，確保其不致脫落或在運動時不被甩出。 （4）設備的往復運動部件采取可靠的限位措施。各運動軸設置可靠的電氣、機械雙重限位裝置，防止造成滑落的危險。 （5）在預定工作條件下，設備及其部件不出現意外傾覆。激光系統、光束傳輸部件應有防護措施并牢固定位,防止造成沖擊和振動。 （6）設備工作時有明顯的信號指示，警示標志貼在設備的醒目位置。 （7）每個“起動”控制元器件附近均應設置一個“停止”控制元器件。設備的每個操作位置均應設置急停器件。設備的急停能實現： ①使激光光束不再產生并自動把激光光閘放到關斷位置； ②使設備停機； ③切斷激光電源并釋放儲存的所有能量。 | 
